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超音波洗浄槽
フロンガス使用の規制対策として、超音波とアルカリ洗剤の組み合わせによりフラックスや油等を洗浄するための装置です。又、超音波の代わりに特殊ノズルを使用し、5μm位の微粒化した水を洗浄物に吹き付けて超音波以上の洗浄効果を得られる物もあります。オゾン水5μmの微粒子に依る洗浄槽もあります。